Autor: DE ASSIS, P. L.

Orientador: PERSIANO, A. I. C.

Outros autores: SAMPAIO, N P [RHAE-DTI 7F];;

Linhas de pesquisa no CNPq: CIENCIAS EXATAS E DA TERRA / FÍSICA DA MATÉRIA CONDENSADA

Unidade: INSTITUTO DE CIÊNCIAS EXATAS
Departamento: FÍSICA

Palavras-Chave: NANOCIENCIAS - NANOLITOGRAFIA POR FEIXE ELETRÔNICO - NANO-FABRICAÇÃO DE SENSORES E ATUADORES

O projeto tem por objetivo encontrar as condições ótimas de litografia por feixe eletrônico para a fabricação de micro e nano dispositivos. O objetivo mais imediato é a confecção de sensores Hall de dimensões reduzidas, feitos a partir de semicondutores de alta mobilidade, para o mapeamento de superfícies magnéticas. As etapas posteriores terão como objetivo desenvolver um conjunto de sensores de raios-x de dimensões semelhantes às dos sensores Hall, para usá-los como um tomógrafo celular. Atualmente o projeto ainda está na fase de testes de litografia, para encontrarmos as melhores condições para a confecção dos futuros dispositivos, embora já tenhamos alguns modelos de sensores Hall desenhados.

Apoio: Fapemig e CNPqp>